珂矽信息技术（上海）有限公司

SEMI 标准

• SEMI 标准是半导体、平板显示器、微机电系统、光伏和高亮度LED等行业的自愿技术协议。
• SEMI国际标准项目是SEMI为全球电子设计和制造行业提供的一项关键服务，是对生产制造业务问题的技术解决方案

谁来制定SEMI 标准

• 任何技术相关人员都可以加入SEMI标准工作组，并参与SEMI标准的创建。超过5000名行业志愿者参与了SEMI标准的制定。
• SEMI Staff管理这个过程，提供会议室、公告、记录，确保会议符合SEMI规则，并发布标准。

SEMI 标准与智能制造

• SEMI 信息控制标准（Information & Control) 是半导体等设备与工厂CIM系统通讯，实现设备互联，数据采集和工厂自动化控制的系列标准。
• SEMI信息控制标准标准，是半导体自动化生产制造的基本行为规范。其中最为主要和常用有包括：

I. SECS/GEM

1. 协议层：SEMI E4 (SECS-I) , E37(HSMS);
2. 消息及数据层： E5 (SECS-II);
3. 行为和场景： E30 (GEM);

II. GEM300: 对设备行为和场景的更高级的要求，提供更高的复杂度和灵活度。

1. E40 (Process Job Management);
2. E94 (Control Job Management);
3. E87 (Carrier Management);
4. E90 (Substrate Tracking);
5. E116 (Equipment Performance Tracking);
6. E157 (Module Processing Tracking).

III. Interface A/EDA: 提供即插即用的设备元数据接口，及高密度高质量的设备数据。为工厂可以对大数据进行建模分析提供数据源。

1. E120 (Commone Equipment Module);
2. E125 (Equipment Self-Description);
3. E132 (Client Authentication and Authorization);
4. E134 (Data Collection Management);
5. E164 (EDA Common Metadata);
6. E179 (Protocol Buffers Common Components);

IIIV. 其他辅助及特种机台相关标准，例如E172 (SEDD), E173(SMN), E84 (Enhanced PI/O), E109 (Reticle Management)…..

其中，应用范围最为广泛的是SECS GEM和GEM300系列标准。