由SEMI中国主办, 珂矽信息技术和米格实验室联合承办的“SEMI半导体GEM300 Workshop”于2023年3月10日在南通顺利举行。

半导体芯片的生产制造是一个高度自动化的生产过程。除了设备本身运行的自动化,工厂自动化也是现代晶圆厂必不可少的基础功能。SECS/GEM系列标准所定义的功能使芯片制造商能够与设备通信,从生产设备采集数据并实现对设备的控制。但是当300mm晶圆开始引入, 晶圆尺寸变大让人工搬运装卸材料变得困难,晶圆上芯片数量的增多也要求对生产的过程控制更复杂精细,对材料和设备的数据要求也更多。这些挑战促使SEMI 发布了GEM300系列标准来解决这些问题。
GEM300系列标准,包括 SEMI E39, SEMI E40, SEMI E87, SEMI E90, SEMI E94, SEMI E116。该系列标准描述了一种更复杂的全自动化生产方法,工厂主机可以更精细的远程控制芯片加工过程,监控设备运行性能和材料处理状态,并提供了额外的生产过程优化功能,大大提高了芯片生产的自动化程度。

SEMI全球信息控制标准委员会中国分委员会主席,珂矽信息技术(上海)有限公司执行副总经理刘波从SEMI设备基本通讯标准层次结构出发,梳理了目前半导体生产加工过程中用到的主要SECS/GEM及GEM300 通讯标准,并介绍了2010年新发布的SEMI E157 Module Process Tracking 标准。
参会人员讨论热烈,提出了很多GEM300在实现和应用过程中遇到的问题,并表示出对下一次公开课的期待。
珂矽(KXware)是SEMI标准技术委员会在中国的活跃会员,也是国内领先的半导体设备基础软件和智能控制平台专业供应商,会一直支持SEMI标准在国内的推广和应用。