GEM标准是半导体行业普遍遵循的自动化标准，所有符合GEM标准的设备都可以与实现GEM协议的工厂主机兼容。因此，从工厂主机的角度来看，所有的设备都具备基本相同的模型和行为。不同供应商，不同型号，不同版本的设备的区别就体现在设备所特有的事件，报警，变量，支持的远程指令，配方格式等等。在设备需要对接进入自动化生产的时候，工厂的开发人员通过设备配备的SECS GEM手册，获取设备的以上特性描述信息，开发具体的自动化数据收集和控制消息。但是使用SECS GEM手册还是有不足之处，主要表现在：
- SECS GEM手册的更新往往跟不上设备软件的升级，信息更新滞后；
- SECS GEM 手册没有统一的格式，通常为PDF或Word文档格式，需要开发人员阅读后获取更新信息；
为了解决这些问题，SEMI标准的修订者们也在对标准持续做完善。除了发布标准SEMI E172 （SEDD, SECS Equipment Data Dictionary），将设备的特性描述格式标准化。此外，SECS GEM标准陆续增加了一系列接口消息，使得工厂可以随时通过向设备发送指令，查询到设备当前的特性定义。本篇文章接下来的内容，整理了自1982年至今，SEMI 标准中定义的设备自我描述接口功能的进化历程。
E005-00-0082 版本接口
- S5F5 (List Alarm Request) / S5F6 (List Alarm Data)
- S7F19 (Current EPPD Request) / S7F20 (Current EPPD Data)
E005-00-0092 版本新增接口
- S1F11 (Status Variable NameList Request) / S1F12 Status Variable NameList Reply
- S2F29 (Equipment Constant NameList Request) / S2F30 (Equipment Constant NameList)
- S5F7 (List Enabled Alarm Request) / S5F8 (List Enabled Alarm Data)
E005-00-0813版本新增接口
- S1F21 (Data Variable NameList Request) / S1F22 (Data Variable NameList Data)
- S1F23 (Collection Event NameList Request) / S1F24 (Collection Event NameList Data)
E005-00-0821 版本新增接口
- S2F51 (Request List of Report Identifiers) / S2F52 (Return List of Report Identifiers)
- S2F53 (Request List of Report Definitions) / S2F54 (Return List of Report Definitions)
- S2F55 (Request Event Report Links) / S2F56 (Return Event Report Links)
- S2F57 (Request List of Enabled Events) / S2F58 (Return List of Enabled Events)
- S2F59 (Request Selected Spooling Stream and Functions) / S2F60 (Return Selected Spooling Stream and Functions)
- S2F61 (Request List of Trace Identifiers) / S2F62 (Return List of Trace Identifiers)
- S2F63 (Request Trace Definitions) / S2F63 (Return Trace Definitions)
Kxware开发的KXGEM产品，为半导体及泛半导体生产加工设备提供了一套成熟的，全功能的GEM接口解决方案。符合SEMI E5/E30/E37标准，支持SEMI E30 GEM所有功能。支持E005-00-0821 标准中包含的所有设备端自我描述接口。 KXGEM可跨平台运行在Windows, Linux, 安卓等操作系统中。支持多HSMS 端口及多设备实例。集成方式灵活，简便，兼容性强。
如果需要了解KXGEM的功能及特性，请联系Support@kxware.com。