SEMI E87 (Specification For Carrier Management) 定义包括半导体设备在处理人工传输和自动传输Carrier到达/离开过程中，工厂主机和设备的状态和行为。其中Carrier 的验证是关键的一环。Carrier的验证，是为了确保在工厂自动传输物料，自动执行作业任务时，设备进行加工的Carrier(Carrier ID) 和Carrier 里的物料位置是正确的。
本篇文章将围绕Carrier ID 和 Carrier SlotMap的验证，阐述Carrier ID和Carrier SlotMap的状态，验证方法，以及衍生出的基本流程场景。
1. 验证信息
Carrier ID 和 Carrier SlotMap.
2. 验证执行者
设备，或者工厂主机。
3. 四种验证方式：
- Host-Based Carrier ID Verification + Host-Based SlotMap Verification
- Equipment-Based Carrier ID Verification + Host-Based SlotMap Verification
- Host-Based Carrier ID Verification + Equipment-Based SlotMap Verification
- Equipment -Based Carrier ID Verification + Equipment -Based SlotMap Verification
通常每个工厂会根据工厂本身的自动化策略，在以上四种验证方式组合中选择一种，但并不能排除工厂会在同一台设备使用一种以上验证组合。到这里，很多人就会有同样的疑问：工厂主机和设备是通过什么来约定使用哪种验证方式呢？答案是：服务命令。
首先，验证的核心是将从工厂MES获取的Carrier信息与从Carrier 本身读取到的信息进行对比。那么验证的执行者就是首先同时掌握以上两方信息的主体。设备从Carrier读到的信息以事件的方式发送给工厂主机（S6F11）, 工厂主机从MES获取的Carrier信息则是通过Carrier 服务命令发送给设备(S3F17)。根据工厂主机下达S3F17服务命令的不同时间点和命令内容，工厂主机和设备可以动态的决定由哪一方来完成Carrier ID和 SlotMap 的验证。
我们以第一种验证方式为例，梳理一下流程：
- 首先，设备在没有收到任何Carrier 服务命令的情况下，检测到Carrier的到达。
- 设备从Carrier上安装的Tag中读取到Carrier ID。
- 设备将读到的Carrier ID上报给工厂主机。
- 工厂主机向MES 查询该设备及装载台上调度指定的Carrier 信息。
- 工厂主机验证Carrier ID。一旦匹配，向设备发送S3F17 ProceedWithCarrier。
- 设备接受到S3F17 ProceedWithCarrier，认为Carrier ID 已经得到确认。继续执行Carrier SlotMap的扫描。
- 设备将读到的SlotMap上报给工厂主机。
- 工厂主机向MES 查询该设备及装载台上调度指定的Carrier Slot Map信息，并与设备上报SlotMap进行比对。一旦匹配，设备发送S3F17 ProceedWithCarrier。
- 设备接受到S3F17 ProceedWithCarrier，认为Carrier SlotMap 已经得到确认。
至此 E87 Carrier的验证流程结束。可以看到，在此流程中，工厂主机使用了两次ProceedWithCarrier指令来对Carrier ID和 Slot Map进行验证。关于其他几种验证方式，篇幅所限，我们列举出了使用的服务指令，不做详细分解介绍。如果想要了解更多细节，欢迎联系我们。
4. Carrier验证中使用的服务命令
- Host-based Carrier ID & Host-based Slot map验证
- ProceedWithCarrer（仅包含Carrier ID，不包含SlotMap）
- ProceedWithCarrer (包含Carrier ID)
- Host-based Carrier ID & Equipment-based Slot map验证
- ProceedWithCarrer（包含Carrier ID 及SlotMap信息）
- Equipment-based Carrier ID & Host-based Slot map 验证
- Bind/CarrierNotification（包含Carrier ID，但不包含SlotMap信息）
- ProceedWithCarrer (包含Carrier ID)
- Equipment-based Carrier ID & Equipment-based Slot map 验证
- Bind/CarrierNotification （包含Carrier ID 及SlotMap信息）.
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