半导体设备控制软件框架
Kxware Tool Master (KTM)
随着中国半导体产业的快速发展，对国产半导体设备控制软件平台的需求日益增长。KTM半导体设备控制软件平台是集成了先进的控制算法、数据处理、用户界面和网络通信技术的软件系统，旨在为半导体制造设备提供高效、稳定、智能化的控制解决方案。
1. 高度集成化
KTM半导体设备控制软件平台采用模块化设计，支持多种半导体制造工艺，通过高度集成化的控制算法实现精确控制和工艺优化。
2. 实时数据处理
平台具备强大的实时数据处理能力，能够实时采集、分析和处理设备运行数据。通过实时监控和数据分析，及时发现设备异常，提高设备运行效率和产品质量。
3. 用户友好的操作界面
我们注重用户体验，提供遵循SEMI E95简洁直观的操作界面。用户可以轻松配置工艺参数、查看设备状态、进行故障诊断和维护操作，降低操作难度，提高工作效率。
4. 提供多种工艺控制模式
- 基于上位机开发的工艺控制引擎
- 基于下位机（PLC、RTOS）开发的工艺控制引擎
- 基于上位机和下位机双控体系的工艺控制引擎
5. 丰富的数据记录和诊断
- 实时采集设备运行数据
- 支持数据存储、查询和导出功能
- 提供数据分析工具，如趋势图、直方图
- 多种形式的日志记录和历史查询
6. 提供多样化的硬件驱动库
参考以下链接查看目前支持的硬件驱动库列表：
7. 完全遵循 SECS/GEM, GEM300, EDA (Interface-A) SEMI 标准
【SECS/GEM SEMI Standards】
- SEMI E5 – SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT (SECS-II)
- SEMI E30 – Specification for the Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
- SEMI E37 – Specification for High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
【GEM300 SEMI Standards】
- SEMI E39 – Specification for Object Services: Concepts, Behavior, and Services (OSS)
- SEMI E40 – Specification for Processing Management
- SEMI E87 – Specification for Carrier Management (CMS)
- SEMI E90 – Specification for Substrate Tracking
- SEMI E94 – Specification for Control Job Management
- SEMI E116 – Specification for Equipment Performance Tracking
【Interface A SEMI Standards】
- SEMI E120 – Specification for the Common Equipment Model (CEM)
- SEMI E125 – Specification for Equipment Self Description (EqSD)
- SEMI E132 – Specification for Client Authentication & Authorization
- SEMI E134 – Specification for Data Collection Management
【Other SEMI Standards】
- SEMI E84 – Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
- SEMI E95 – Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment
- SEMI E157 – Specification for Module Process Tracking
- SEMI E172 – Specification for SECS Equipment Data Dictionary (SEDD)
- SEMI E128 – Specification For XML Message Structures
- SEMI E138 – XML Semiconductor Common Components
- SEMI E164 – Specification for EDA Common Metadata
- SEMI E167 – Specification for Equipment Energy Saving Mode Communication (EESM)
- SEMI E175 – Specification for Subsystem Energy Saving Mode Communication (SESMC)
8. 应用场景
KTM半导体设备控制软件平台广泛应用于半导体制造、封装测试、LED生产等领域，适用于各种半导体设备，如刻蚀设备、清洗设备、炉管设备、分片设备、化镀设备、离子注入机、薄膜沉积设备等。客户设备进入国内各类前道、后道、封测等工厂，通过SECS/GEM，GEM300，Interface-A等标准互联接口与工厂CIM系统对接实现自动化生产运行。
9. 服务和技术支持
我们提供完善的售后服务和技术支持，包括：
- 企业微信在线技术支持
- 定期软件升级和维护
- 定制化开发和技术咨询
- 协助分析解决现场设备软件问题
- 软件开发培训和项目开发指导
KTM半导体设备控制软件平台致力于为半导体制造企业提供高效、稳定、智能化的控制解决方案。我们不断追求技术创新，为国产半导体产业的发展贡献力量。如需进一步了解产品详情或定制开发需求，请联系sales@kxware.com获取更多信息。