KXEDA 软件开发包
传统 SECS/GEM 协议将设备控制与数据上报复用同一通信链路，受性能约束，数据采样频率大多仅1‑2Hz，采集逻辑与批次生产强绑定，很难实现高频采样、条件触发、多客户端并行访问。SEMI EDA/Interface‑A标准把数据通道与控制通道解耦，支持设备元数据自描述、灵活可配置的数据采集计划 DCP、多路客户端独立接入。EDA标准是面向半导体工厂的独立设备数据采集标准，和传统 SECS/GEM 协议互补，专注设备数据采集，不参与设备控制。现已成为先进产线的硬性接口条件。
EDA/Interface-A 标准是一系列标准的集合，包括：
核心主标准
- E120：通用设备模型（Common Equipment Model）
- E125：设备自我描述规范（Equipment Self-Description）
- E132：客户端认证与授权规范（Client Authentication & Authorization）
- E134：数据收集管理规范（Data Collection Management）
配套辅助标准
- E128 XML 消息结构规范（XML Message Structures）
- E138 半导体通用组件 XML 规范（XML Semiconductor Common Components）
- E164 EDA 通用元数据规范（EDA Common Metadata，Freeze II 可选）
为了客户端和设备的兼容性，需要冻结（Freeze）版本确保底层组件标准(E120，E125、E132、E134)的互操作性。截止目前，EDA/Interface-A 系列标准的Freeze情况如下
- Freeze I，即Interface A 1105
- Freeze II，即Interface A 0710
- Freeze III，开发中
KXEDA是珂矽自主开发的EDA/Interface-A标准软件开发包。KXEDA 面向半导体设备厂商，封装复杂 SEMI EDA 标准细节，帮助厂商快速开发符合行业规范的 EDA 服务端接口，满足国内及海外主流300mm晶圆厂、先进封装产线的设备准入要求，降低开发、测试与维护成本。
KXEDA完整支持 EDA Freeze I、Freeze II，以量产主流 Freeze II 作为核心适配版本。KXEDA 内置可配置 SECS GEM/GEM300/HB4/PV 协议定义模型，支持传统 GEM 数据模型和 EDA 元数据双向关联映射，打通SECS GEM标准向 EDA 新标准的数据迁移通路。
KXEDA的核心功能包括：
- 完整 EDA 接口实现
完整落地E120/E125/E132/E134 全套 WebService 接口，覆盖 CEM 设备建模、元数据发布、会话生命周期管理、ACL 访问权限管控、DCP 数据采集计划全生命周期管理、事件/异常/参数跟踪上报，支持多个客户端同时连接读取设备数据。
- 设备元数据自描述
支持构建完整 CEM 对象模型（Equipment、Module、Subsystem、IODevice 等），对外输出设备物理架构、状态机、参数、事件、异常、数据类型、计量单位等元数据。工厂侧 EDA 客户端无需阅读设备手册，即可自动识别设备能力与数据项。
- 灵活的 DCP 数据采集计划
支持客户端下发、激活、停用、删除 DCP 采集计划；支持周期轮询、事件触发、条件触发多种采集模式；具备性能监控能力，当数据采集负载超出阈值时主动向客户端推送性能告警通知。
- 安全会话与权限管控
实现E132 认证授权框架，包含会话建立、会话保活（SessionPing）、会话关闭、ACL 访问控制列表、角色‑权限体系，可精细化管控不同客户端对设备数据的访问权限，保障设备通信安全。
- 开发配套工具与示例
- 提供完整设备 Sample 示例代码，便于开发人员快速理解标准逻辑，加速项目集成；
- 配套KXEDATester 测试客户端，用于接口调试、DCP 下发配置、数据接收校验，支持内部自测以及晶圆厂现场联调测试。
如果您想更进一步了解KXEDA 软件产品细节，请通过邮件support@kxware.com和我们取得联系。