KXGEM SDK对GEM300所涉及的SEMI软件标准做了完全的功能实现
- 对象服务标准 OSS(E39)
- 晶圆追踪标准 STS(E90)
- 自动化作业管理追踪 PJM(E40),CJM(E94)
- 设备硬件模块运行效率的管理和追踪 EPT(E116)
- 全自动Carrier管理标准 CRM(E87)
- 物料运输的晶圆传送标准,并行IO硬件通信接口定义 PIO(E84)
- 生产制程关键参数进行追踪监控标准 MPT(E157)
哪一类设备制造商适合使用KXGEM300 SDK?
设备制造商已有自己的设备控制软件,希望以较少的研发成本和较短时间内对设备软件进行改造实现GEM300标准。我们为每一位KXGEM300软件产品使用客户定制开发培训教程,在培训中以客户实际设备为实例,完成GEM300各个SEMI标准的集成操作演示和测试。
KXGEM300使得设备制造商的软件开发人员不需要精通一系列GEM300标准,就能开发出满足工厂自动化生产要求的GEM300设备操作规范和通信接口。
基于KXGEM300 SDK产品,珂矽已协助多个国内半导体设备制造商完成了GEM300软件集成,包括单片晶圆工艺处理,晶圆封装,晶圆量测等设备。 运行KXGEM300的半导体设备已在包括长江存储,中芯国际等一线工厂运行。