KXGEM300 软件开发包

SEMI发布的GEM300标准,用于工厂自动化管理物料运输、管理设备制程、跟踪物料。 前道半导体芯片生产制造工厂,先进封装工厂等均要求生产设备满足GEM300标准。与SECS/GEM标准不同,GEM300更多的是对半导体设备软件在工厂如何实现全自动化生产的行为做了各种规范。

遵循GEM300标准的设备通常要实现以下SEMI标准:

  • 对象服务标准 OSS(E39)
  • 晶圆追踪标准 STS(E90)
  • 自动化作业管理追踪 PJM(E40),CJM(E94)
  • 设备硬件模块运行效率的管理和追踪 EPT(E116)
  • 全自动Carrier管理标准 CRM(E87)
  • 物料运输的晶圆传送标准,并行IO硬件通信接口定义 PIO(E84)
  • 生产制程关键参数进行追踪监控标准 MPT(E157)

KXGEM300是珂矽自研开发的GEM300软件开发包,目前集成KXGEM300软件的半导体设备类型超过15种,已在国内逾10家主流半导体芯片生产制造工厂长期稳定运行。

KXGEM300软件开发包的主要特点和功能:

  • 完全采用C#开发,支持.Net Framework 4.6,4.7,4.8和.NET 6,7平台
  • 支持KXGEM软件开发包的所有功能和SEMI标准
  • 支持GEM 300标准:SEMI E39,E40,E87,E90,E94,E116
  • 支持前道工厂常见扩展标准:SEMI E84,E157
  • 支持单片晶圆工艺(Substrate Type)设备和晶圆盒(Carrier Type)工艺设备标准
  • 可跨平台在Windows,Linux等操作系统运行
  • 提供设备Sample示例代码,方便用户学习和快速完成代码集成
  • 提供GEM300手册模板文件
  • 提供ToolPanel诊断工具进行通信状态诊断和调试
  • 提供KXGEMTester工具对GEM300软件进行工厂模拟全自动化运行测试

为方便客户快速完成软件集成,KXGEM产品采用两种发布形式:

  • 离线安装包
    ➤ 不同平台的DLL库文件:.Net Framework 4.6,4.7,4.8和.NET 6,7平台
    ➤ GEM300示例程序及源代码
    ➤ ToolPanel调试诊断工具
    ➤ KXGEMTester EAP模拟测试工具
  • Nuget
    ➤ 提供KXware Nuget服务器访问账号进行软件库访问
    ➤ C# IDE工具添加KXGEM300 Lib引用,自动识别当前项目添加合适的KXGEM300库引用
    ➤ 支持Linux平台添加引用和开发

如果您想更进一步了解KXGEM300软件产品细节,请通过邮件support@kxware.com和我们取得联系。