SEMI Interface-A/EDA 系列标准最新进展

什么是EDA标准

EDA : Equipment Data Acquisition。另一名称 Interface A, 这两个是通用的术语。

EDA 标准是一组SEMI标准的集合。包括

  • E120 通用设备模型规范(Specification for the Common Equipment Model)
  • E125 设备自我描述规范(Specification for Equipment Self Description)
  • E132 客户端认证与授权规范(Specification for Client Authentication & Authorization)
  • E134 数据收集计划规范(Specification for Data Collection Management)
  • 其他相关标准:E128, E138, E164, E157

EDA 接口的特点

  • 仅做数据收集
  • 数据包含上下文信息
  • 自我描述的元数据
  • 常用的网络技术
  • 多个独立的客户端访问
  • 有限制的访问

EDA冻结版本 (Freeze)

  • EDA冻结版本指的是特定的EDA标准版本的集合
  • 为了客户端和设备的兼容性,需要冻结(Freeze)版本
  • 确保底层组件标准(E125、1、E132、E132.1、E134、E134.1)的互操作性
  • 处理服务消息格式(wsdl)和协议(HTTP/SOAP)
  • Freeze I, 即Interface A 1105
  • Freeze II, 即Interface A 0710
  • Freeze III, 开发中

EDA系列标准冻结版本及最新版本

EDA Freeze III 时间线

一些提案仍在进行中:涉及标准 E120.2, E125, E132, E134, E164, E179.

批准可能需要的时间:1到2年

预测采用实施的时间:2-3年

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