SEMI HB13 Susceptor与晶圆数据采集规范概述

 

引言

HB13标准是对HB-LED ECI的补充，专注于在HB-LED制造过程中通过susceptor（承载器）或carrier（载体）追踪晶圆活动的数据采集方法。适用于所有使用susceptor的工艺设备，包括单晶圆与批量处理系统。

关键概念定义

• Susceptor：承载晶圆的支撑结构，通常全程伴随晶圆位于工艺腔体内。
• Wafer ID：晶圆的唯一标识符。
• Wafer Location ID：晶圆在susceptor上的位置标识，用于绑定工艺变量（如温度、压力）。

Susceptor与晶圆布局要求

HB13 规范了警员在Susceptor上的常见布局与编号规则，包括：

• 每个susceptor应具有唯一ID，支持子承载器ID的层级结构（如“主ID+子ID”）。
• 晶圆应以同心圆环（或多边形排列）方式放置于susceptor上，环号从内向外编号，中心位置可设为环0。
• 晶圆位置ID格式为：<susceptorID>-<环号>-<环内序号>。

数据采集与变量定义

HB13规定了通过HB-LED ECI接口采集susceptor与晶圆数据时所需的事件、数据变量与状态变量，包括：

• 采集事件：如晶圆装载、卸载、位置状态变更等。
• 数据变量：涵盖工艺参数、位置信息、时间戳等。
• 状态变量：反映susceptor与晶圆的实时状态。

典型数据采集流程示例

HB13提供了多种晶圆变量数据采集场景，包括：

• 场景一：基于环号与旋转序号的晶圆定位与变量绑定。
• 场景二：多susceptor系统中跨载体的晶圆跟踪与数据聚合。

 总结与建议

HB-LED ECI与HB13共同构建了一套完整、可扩展的通信与数据采集框架，为HB-LED制造设备的高效集成与智能化管理提供了标准化基础。

如需了解SEMI HB13解决方案，请联系support@kxware.com。

如需获取SEMI 标准文档， 请访问SEMI网站获取：https://www.semi.org/en/products-services/download-standards 。